设备亮点

1.国内首台激光剥离量产设备；

2.采用DPSS激光器作为激光光源；

3.自主研发的可用于稳定生产的激光倍频模组；

4.加工幅面大，可选择性加工2-6寸晶圆；

5.搭载高精度CCD相机，能实现精准区域剥离；

6.加工性能优越、稳定性好，可全自动上下料，24小时持续生产；

7.激光光束、功率稳定，加工效率远高于准分子激光器设备；

8.聚焦焦深长达1000μm，对于一定范围内翘曲的晶圆也可保证稳定的剥离效果。

实际效果